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设备及耗材

我们为有需要材料加工的实验室提供全套研磨、抛光解决方案。整套系统包含设备、配套功能模块、加工工艺及特殊治具,以及零部件、耗材后续供应、技术支持等服务。专门为实验室开发的HLSP-A01平面研磨抛光机体积小,自动化控制,功能集成化高,可根据客户需要调整功能模块,通过更换夹具、耗材可用于2-8英寸各种材料(包括多种硬脆材料)的研磨、抛光,抛光精度高,HLSP-A01平面研磨抛光机产品各项参数优秀,非常适合配套给科研院所及学校实验室使用,其采购价格较同类进口设备有优势,且在使用、维护方面更加灵活便利。

* 适用1-8英寸晶元,双工位单片加工小批量晶元。
* 配合非标夹具,加工各种非标尺寸产品。
* 可选配铸铁盘、铜盘、锡盘、陶瓷盘、聚氨酯、无纺布、阻尼布等不同磨抛盘,提供工艺灵活性,集CMP磨抛与物理磨抛工艺于一体。
* 空间占用小,封闭加工环境,集研磨、抛光功能于一体。
* 集成修盘模块。
* 多通道供液模块,可将多种溶液合并到工艺配方中,亦可选择循环、蠕动、喷射等不同搭配形式。
* 盘面自动冲洗,磨盘界面温度实时监控。
* 磨抛盘、工件盘独立驱动,转速任意调节。
* 主要部件密封及防腐,适用于强腐蚀加工。
* 特殊的磨抛轨迹,可用于高面型光学加工。

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江阴皓睿光电新材料有限公司致力于光电 领域内各种新材料及相关应用产品的研发、加工和服务。公司拥有完善的材料加工技术公司拥有完善的材料加工技术,包括晶体材料、光学材料的切割、整形、磨抛加工,光学镀膜,激光精密切割、钻孔、刻线、划片等,产品广泛应用于光电、电子、光学、设备制造等领域 >>

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