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半级性、无极性蓝宝石LED衬底

 
关于特殊晶向的蓝宝石衬底

   C-Plane蓝宝石基板是广大厂家普遍使用的供GaN生长的蓝宝石基板面,主要是因为蓝宝石晶体沿C轴加工工艺成熟、成本相对较低、物化性能稳定,在C面进行磊晶的技术成熟稳定。但C轴是GaN的极性轴,这导致GaN基器件有源层量子阱中出现很强的内建电场,发光效率会因此降低。R-Plane, M-Plane蓝宝石基板主要用来生长非极性/半极性面GaN外延薄膜,可以克服这一物理现象,提高发光效率。


    


产品类目

A-plane (1120) sapphire wafer                V-plane (22-43) sapphire wafer
R-plane (1102) sapphire wafer                N-plane (11-23) sapphire wafer
M-plane (1010) sapphire wafer               C-axis with a 0.5° ~ 4° off-cut, toward A-axis or M-axis

产品规格

Crystal Material: ≥ 99.995%, High Purity, Monocrystalline Al2O3
Diameter/ Thickness: 50.8mm/430um, 100mm/650um
Surface Finish: SSP or DSP, Epi-ready CMP Ra ≤ 0.2nm
TTV/WARP/BOW: ≤10um/ 10um/ 10um
Packing: Class 100 Clean room cleaning and vacuum nitrogen packaging

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碳化硅晶片

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