动力挡钩

该档钩装置是平面磨抛机的重要部件，不同于传统的固定位置档钩，动力档钩机构由电机驱动，实现陶瓷盘（金属盘）或夹具装置在可控的幅度内摇摆，在加工大面积且越过治具圆心的工件时，使工件在治具圆点的位置接受不同的加工线速度，从而提高工件的平面度精度。

产品特点：无极调速、数显、整体式，适用15寸~48寸机型。

半自动晶片贴蜡机

适用2-6寸单片或多片贴蜡，运行平稳，粘接精度高，维修使用方便。 

多功能CMP搅拌器

包含抛光液搅拌、PH在线监测、PH自动调节、温度在线监测、液位在线监测等；主要部件PVC材料可耐强酸、强碱；适用于碳化硅、氮化镓类加工加工条件比较极端的材料加工用。 

双通道抛光液供给系统

双通道供液，流量可灵活调节，最小流量0.29ml/min、最大流量5000ml/min，适用于大批量生产用（大流量循环的同时小流量滴加助剂）。 

搅拌喷射控制一体机

大容量强力搅拌，带液位监测，喷射、间隔时间灵活设定，两路喷射。 

四通道智能流量型蠕动泵

通过对泵的弹性输送软管交替进行挤压和释放来泵送流体。四通道，智能控制流量。

双通道数字转速型蠕动泵

通过对泵的弹性输送软管交替进行挤压和释放来泵送流体。双通道，数显控制流量。