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玻璃晶圆


 

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JGS1 远紫外石英玻璃  |  JGS2 光学石英玻璃  |  高硼硅玻璃BF33  |  K9玻璃

尺寸圆形1~12英寸,方形:5~250mm

厚度:0.15~20 mm

光洁度:S/D 60/40

* 更多规格请下载《产品手册》或联系客服   

 




石英玻璃

   

石英玻璃晶圆是随着半导体、光学等领域高新技术的发展而出现的一种新型石英玻璃制品,因具有耐高温、抗腐蚀、机械性能优异、光传输效率高等特点而被应用于半导体、光学等行业的生产制造。石英玻璃晶圆应用方向包括微机电元件(MEMS)、CMOS、CCD 传感器、微波电路、物联网阵列以及各类光学、激光器件的加工制造。相比于传统的石英玻璃镜片,石英玻璃晶圆具有表面质量要求更高、尺寸更薄、加工精度更精密、表面光洁程度要求更严苛等特点。

合成有羟基远紫外石英玻璃:我国将人工合成有羟基石英玻璃称为远紫外光学石英玻璃(代号JGS1,应用波段185-2000nm),以CVD化学气相沉积法将原料气态四氯化硅再氢氧焰中进行气相反应,生成无定形二氧化硅沉积于石英底板,生长取得。特点是含有大量羟基-OH 950-1400ppm。金属杂质总量小于0.2ppm,1860Å透过率高达80%,耐10^10radγ射线及其他射线粒子流辐射而不变色,除易产生条纹的缺点外,JGS1远紫外光学玻璃是很优秀的光学石英玻璃。

气炼法光学石英玻璃:国内牌号为JGS2的光学石英玻璃(应用波段250-2000nm)采用气炼法工艺,原理是利用氢氧焰将原料天然水晶熔化,在石英玻璃靶面上堆积形成。其特点是化学纯度高可用于电子、半导体工业;羟基-OH 150-400ppm,紫外透过率好,使用较为广泛,紫外及可见光领域的光学零件及透镜都可以使用。



表1. 石英玻璃的性能

密度:2.2g/cm2

抗压强度:1100Mpa

抗弯强度:67Mpa

抗拉强度:48Mpa

泊松比:0.14~0.17

杨氏模量:72000Mpa

刚性模量:31000Mpa

莫氏硬度:5.5~6.

变形点:1280℃

软化点:1780℃

退火点:1250℃

比热(20~350℃):670J/kg.℃

热导率(20℃):1.4W /m.℃

折射率:1.4585

热膨胀系数:5.5*10^-7cm/cm℃

热加工温度:1750~2050℃

短期使用温度:1300℃

长期使用温度:1100℃

牌号JGS1 

远紫外光学石英玻璃

光谱特性/平均透过率:

180-2500nm 90%

双折射:1-2

颗粒结构:1

条纹:1-2

均匀性:1-2

荧光:1

防辐射:不变色

牌号JGS2

紫外光学石英玻璃

光谱特性/平均透过率:

200-2500nm 85%

双折射:1-2

颗粒结构:2

条纹:1-2

均匀性:2

荧光:2

防辐射:微变色




石英玻璃光学透过率

石英玻璃光学透过率





高硼硅玻璃 BF33

   

高硼硅玻璃(BF33),也称为硼硅酸盐玻璃,是一种以SiO2、B2O3、Al2O3、Na2O为基本构成组分的玻璃材料。这种玻璃因其特殊的组成而具有许多优良的性能,与普通玻璃相比,机械性能、热稳定性能、抗水、抗碱、抗酸等性能大大提高。

高硼硅的荧光现象远远低于钠钙平板玻璃,所以在某些成分检测、生物领域,要减少荧光影响,则需要选择BF33。

较好的光学性能让它广泛应用于精密仪器(光学滤光片)、半导体技术(晶片,显示玻璃)、医学技术、生物工程、光学、光电子学、光子学以及分析设备等领域。

高硼硅密度低,较普通玻璃有重量轻的优点,适合于有重量限制的应用,但强度又很高,具备耐磨、抗刮花以及较高的弯曲強度。

耐高温,它能长期在450°高温下工作,经受急冷急热的热冲击。良好的耐温性让它成为一种应用于多种泛光灯、高功率聚光灯的理想材料。作为一种高绝缘体,高硼硅适合应用于高温下需要具有良好不导电特性材料的场合。

高硼硅的化学稳定性、耐水稳定性,使其可以用于保护医学和分析技术中所使用的高精度测量设备、化学反应器、微通道玻片。此外它有很低很稳定的碱含量,是与硅片阳极键合理想的材料。还有它的抗酸性能出色,仅次于石英玻璃,精细蚀刻产品多采用这个材料。



表2. 高硼硅玻璃的性能

含硅量:>80%

应变温度:520℃

退火温度:560℃

软化温度:820℃

折射率:1.47

透光率:≥90%

弹性模量E:67KNmm^-2

抗张强度:40~120KNmm^-2

加工温度(104dpas):1220℃

热膨胀系数(20-300℃):3.3*10^-6/K^-1

泊松比:0.2

密度(20℃):2.23g/cm3

比热:0.9Jg^-1K^-1

耐水性能(ISO):1级

耐酸性能(ISO):1级

耐碱性能(ISO):2级




硼硅玻璃光学透过率

硼硅玻璃光学透过率





K9玻璃

   

K9玻璃,也称为K9水晶,是一种光学硼硅酸盐玻璃。K9玻璃的性质使其成为许多光学应用的首选材料。以下是一些重要的性质:

光学透明性:K9玻璃表现出卓越的透明性,特别是在可见光范围内。这使其成为制造透镜、窗口和其他光学元件的理想选择。

低色散:K9玻璃具有低色散性质,不同波长的光线经过K9材料时不会分散成不同的颜色。这对于需要色散校正的光学系统非常重要。

热学稳定性:K9玻璃表现出出色的热学稳定性,能够在广泛的温度范围内保持其性能。这是在高温或温度变化大的环境中使用的重要性质。

机械强度:K9玻璃相对坚硬且抗刮性好,这使其在制造耐用的光学部件时非常有利。

抗化学腐蚀:K9玻璃对许多化学物质具有较好的抗腐蚀性,这增加了其在各种环境下的使用寿命。


表2. K9玻璃的性能

密度:2.51g/cm3

努氏硬度HK100:610kg/cm3

杨氏模量E:82*103KNmm^-2

泊松比:0.21

水解性:2级

耐酸性:1级

耐碱性:2级

软化点:719℃

退火点:657℃

应变点:624℃

热导率:1.1W /m.℃

比热:879J/kg.℃

热膨胀系数:7.1*10^-6/K

折射率:1.5168

阿贝数:63.96


K9玻璃光学透过率

K9玻璃光学透过率


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